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国家重点研发计划“X射线衍射光谱与成像纳米器件及集成基础研究”项目2018年度总结研讨会召开

稿件来源:科技处 石莎莉/微电子重点实验室 张康玮 责任编辑: 发布时间:2018-12-19

  1127日,由微电子所牵头执行的国家重点研发计划“纳米科技”重点专项“X射线衍射光谱与成像纳米器件及集成基础研究”项目2018年度总结研讨会在微电子所召开。 

  科技部高技术中心专项主管车子,项目责任专家北京科技大学张跃教授、中科院金属所卢磊研究员,项目咨询专家北京大学朱星教授,中国科学技术大学罗毅教授,中国工程物理研究院激光聚变研究中心江少恩研究员,国家纳米科学中心刘前研究员,中科院上海光机所徐文东研究员、化学所赵文东研究员、微电子所刘明院士,项目负责人微电子所所长叶甜春研究员及项目组科研骨干出席会议。 

  项目负责人、课题负责人分别向与会专家们汇报了项目的进展情况。经过一年半的实施,项目组针对X衍射光谱与成像纳米器件的物理机理及调控、集成制造、结构表征及可靠性、性能测试及应用开展了一系列研究工作,开发出大高宽比结构的光栅模拟软件,获得了不同高宽比的X射线点扩展函数和相位分布;制备了高宽比达到200:1@60纳米的器件,完成了器件集成验证,在上海光源15KeV测试出信号;完成了拉伸和冲击断裂强度试验机结构设计和仿真。建立了衍射成像测试平台并具备50纳米分辨的检测能力。 

      与会专家肯定了项目的进展,建议项目在整体目标下进一步细化任务,衔接指标要求,规范项目体系指标,希望项目组在现有工作基础上,继续深入关键技术研究,力争尽快突破高分辨、高衍射效率、高信噪比、高可靠X射线衍射光谱与成像纳米器件关键技术,实现标准化。针对专家建议,项目组对下一步工作进行了讨论,明确了工作重点,制定了课题间深度合作计划。 

 

参会人员合影

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